合肥科晶5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐（CSS）OTF-1200X-RTP-II-5

名稱

5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐（CSS）OTF-1200X-RTP-II-5

視頻

結(jié)構(gòu)

·采用兩個溫度控制器，分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計，可向真空腔體中通入氣體 

·真空腔體為一高純的石英管，其尺寸為：11" OD/10.8" ID×9" H mm

 基本參數(shù)

工作溫度：最高800℃  推薦加熱速率：≦10℃/s（每個溫區(qū)單獨(dú)加熱） 

功率：20KW  電壓：AC220V 50Hz 單相（需要20A空氣開關(guān)）

真空法蘭

·真空法蘭為316不銹鋼制作 

·頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口 

·底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口

·法蘭是通過兩個硅膠O型圈進(jìn)行密封，用機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-2 torr，用分子泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-4torr.

加熱元件和載樣臺

·由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部 

·兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機(jī)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：0-70mm 

·為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作） 

·采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺，以達(dá)到較好的加熱均勻性 

·底部載樣臺上可放入5"×5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料 

·此款儀器使用時需要配用一循環(huán)水冷機(jī)（KJ-5300型，16L/min)

溫控系統(tǒng)

·兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序

·每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù) 

·PC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中

熱電偶

兩個K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸

  可選

·實(shí)驗(yàn)時需要一個真空泵，可與本公司選購真空泵 

·采用機(jī)械泵可使腔體內(nèi)的真空度達(dá)到10E-2 torr 

·若要使真空腔體內(nèi)達(dá)到更潔凈的工作環(huán)境，可換購無油泵

·也可選購質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng)，將實(shí)驗(yàn)所需氣體按比例混好后導(dǎo)入到真空腔體中

認(rèn)證

·所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

國家專利

專利名稱：可調(diào)短距離快速升降溫蒸鍍爐及其制造方法

專利號：ZL 2013 1 0185033.3

尊重創(chuàng)新，鄙視抄襲，侵權(quán)必究

使用注意事項

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 

·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 

·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 

·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 

·石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 

·對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

保修期

一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。