合肥科晶三溫區(qū)管式爐GSL-1100X-III-D11

特點

• 雙管設(shè)計：外管直徑Φ280mm，內(nèi)管直徑Φ254mm，箔材可以纏繞在內(nèi)管外壁上，然后進(jìn)行CVD生長
• 手動操作送管器，可以輕松的將內(nèi)管送入和移除外管
• 900mm長的恒溫區(qū)可提供7000cm^2的管狀生長區(qū)域

加熱區(qū)&溫度控制

• 三個加熱區(qū)：（總加熱區(qū)長度：1230mm）
• 溫區(qū)1: 410mm  (16")
• 溫區(qū)2: 410mm  (16")
• 溫區(qū)3: 410 mm (16")
• 三個溫區(qū)都采用PID方式控制溫度，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃
• 熱電偶：Omega K型鎧裝熱電偶

工作溫度

• 最高工作溫度：1100℃（小于1小時）
• 連續(xù)工作溫度：1000℃

最高升溫速率

• 10℃/min  (RT~800℃)
• 5℃/min (800~1100℃)

輸入電源

• AC 380VAC三相, 50/60 Hz 
• 最高功率24 KW 

爐管

• 兩根高純石英管
  外管尺寸： 280mm O.D. x 270 mm I.D. x 2070 mm L
  內(nèi)管尺寸：254mm O.D. x  244 mm I.D. x 2310 mm L

真空密封法蘭

• 配有一套304不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封
• 右端法蘭采用KF25接口用于連接真空泵
• 左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭，用于通入反應(yīng)氣體
• 一個機(jī)械壓力表安裝在左端法蘭上
• 兩端法蘭上都安裝有石英管堵，可保證管式爐的恒溫區(qū)
• 真空度: 10^-2 torr（采用機(jī)械泵）; 10^-4 torr （采用分子泵）

送管器

• 手動操作送管器，可以輕松的將內(nèi)管送入和移除外管
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儀器尺寸

   5400L x 770W x 1500H mm（包含送管器）

重量

   600 kg

質(zhì)保期

   一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈）

質(zhì)量認(rèn)證

•  CE認(rèn)證
• 所有電器元件（>24V）都通過UL / MET / CSA認(rèn)證
• 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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警示

• 爐管為高純石英爐管，設(shè)計只能在真空或常壓環(huán)境下使用，所以爐管內(nèi)部氣壓需＜0.02MPa
• 若要向爐管內(nèi)通入氣體，所用氣瓶上必須安裝減壓閥，可在本公司購買減壓閥
• 當(dāng)設(shè)備使用溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)部不可處于真空狀態(tài)
• 如要大量通入可燃性氣體，如H2或CH4，請與本公司聯(lián)系，為保證安全建議在通風(fēng)柜中操作，房間內(nèi)安裝H2和CH4探測器

可選配件

• 可在本公司購買生長石墨烯的銅箔（150m m L x 150mm w x 25um t）
• 可在本公司選購輥壓機(jī)，對石墨烯進(jìn)行干法轉(zhuǎn)移
• 可選購小型氣液混合器，進(jìn)行CVD生長
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